- отмывка подложек
- substrate washing
Русско-английский словарь по радиоэлектронике. — Руссо. 2005.
Русско-английский словарь по радиоэлектронике. — Руссо. 2005.
МАРКИ ПОЧТОВЫЕ — знаки оплаты почт, сбора за пересылку и доставку почт. отправлений. Вып. почт, ведомствами стран и тер., обладающих почт, независимостью. Первые почт, марки вышли в Великобритании 06.05.1840, затем в Бразилии (1843), США (1847), Франции… … Большой филателистический словарь
ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ — (от англ. planar плоский), совокупность способов изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем путем формирования их структур только с одной стороны пластины (подложки), вырезанной из монокристалла. П. т. основа микроэлектроники,… … Химическая энциклопедия